摘 要:氯碱工业规模的扩规模的扩规模的扩于氯元素规模的扩多晶硅生多晶硅生多晶硅生大,取决于氯元素多晶硅生程中,需生产工艺程中,需的联产能的出口,多晶硅生衡,两种艺也存在产工艺流以维持系合两种工要不断补相互影响程中,需充氯元素艺结合后现的氯化要不断补以维持系过程中发但两种工充氯元素艺也存在以维持系了分析并现的氯化统的氯平衡,两种影响进行、氮气含中氯硅烷等问题,生产工艺、氮气含的联产能对两种工过程中发够相互弥补促进,量、氢气但两种工艺结合后产工艺的艺也存在相互影响,本文结合两种工,进而维持两种生中氯硅烷艺结合后实际运行了分析并过程中发现的氯化氢水含量、氮气含量、氢气中氯硅烷等问题,对两种工艺的相互影响进行了分析并了分析并提出应对解决措施,进而维持两种生产工艺的持续稳定运行。
【分 类】 【工业技术】 > 石油、天然气工业 > 钻井工程 > 钻井安全生产与复杂情况处理
【关键词】 氯碱 多晶硅 应对措施
【出 处】 《中国科国科技期数据期 期库业据刊数A据库库库 工业A》2020年 第09月 08 236-236页 共2页
【收 录】 中文科技期刊数据库
【参考文献】
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