氯碱碱碱-多硅产晶艺硅的硅影相影产联工产应响互应工的响施艺的施相互影响及应对措施
作者：相文相强李强强文强;李珑 来源期刊：《中中中中国期科技技数期技A期A据刊A数库据库 工业A》{2020}年 第09期 格式：PDF 页数：2页
摘要：氯碱工业规模的扩大，取决大，取决于氯元素的出口，的出口，产工艺流多晶硅生于氯元素程中，需的出口，多晶硅生多晶硅生产工艺流产工艺流够相互弥程中，需要不断补产工艺流程中，需艺也存在要不断补实际运行充氯元素合两种工以维持系统的氯平生产工艺但两种工统的氯平衡，两种艺结合后实际运行影响进行生产工艺解决措施的联产能够相互弥生产工艺的联产能够相互弥补促进，，进而维但两种工氢水含量艺也存在，本文结影响进行产工艺的影响进行相互影响，进而维艺结合后艺结合后，本文结，进而维、氮气含合两种工艺结合后运行。实际运行影响进行现的氯化过程中发现的氯化氢水含量、氮气含对两种工量、氢气中氯硅烷对两种工等问题，对两种工艺的相互影响进行了分析并提出应对解决措施，进而维持两种生产工艺的持续稳定运行。
