氯碱-多晶硅联产工艺的相互影响及应对措施
作者：相文强;李珑 来源期刊：《中国科技期刊数据库 工业A》{2020}年 第09期 格式：PDF 页数：2页 摘要：氯碱工业规模的扩大，取决于氯元素的出口，多晶硅生产工艺流程中，需要不断补充氯元素以维持系统的氯平衡，两种生产工艺的联产能够相互弥补促进，但两种工艺也存在相互影响，本文结合两种工艺结合后实际运行过程中发现的氯化氢水含量、氮气含量、氢气中氯硅烷等问题，对两种工艺的相互影响进行了分析并提出应对解决措施，进而维持两种生产工艺的持续稳定运行。
