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氯碱-多晶硅联产工艺的相互影响及应对措施

作者:相文强;李珑 来源期刊:《中国科技期刊数据库 工业A》{2020}年 第09期 格式:PDF 页数:2页
摘要:氯碱工业规模的扩大,取决于氯元素的出口,多晶硅生产工艺流程中,需要不断补充氯元素以维持系统的氯平衡,两种生产工艺的联产能够相互弥补促进,但两种工艺也存在相互影响,本文结合两种工艺结合后实际运行过程中发现的氯化氢水含量、氮气含量、氢气中氯硅烷等问题,对两种工艺的相互影响进行了分析并提出应对解决措施,进而维持两种生产工艺的持续稳定运行。

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