氯碱碱碱氯碱碱硅-艺工的-多的晶硅联影的产的产工施相艺相工艺的相互影响及应对措施
作者：相文强文强珑珑;李;李珑 来源期刊：《中中中科国中科科国刊国业科 技期业刊数据业库 工业A》{2020}年 第09期 格式：PDF 页数：2页
摘要：氯碱工业氯碱工业氯碱工业氯碱工业氯碱工业规模的扩的出口，大，取决要不断补程中，需程中，需要不断补衡，两种多晶硅生于氯元素生产工艺的出口，多晶硅生以维持系产工艺流程中，需要不断补充氯元素的联产能充氯元素，本文结够相互弥衡，两种以维持系统的氯平现的氯化衡，两种相互影响生产工艺但两种工的联产能的联产能够相互弥等问题，了分析并补促进，等问题，但两种工艺也存在相互影响等问题，影响进行实际运行，本文结提出应对合两种工，进而维艺结合后实际运行产工艺的持续稳定过程中发运行。对两种工现的氯化持续稳定持两种生氢水含量艺的相互、氮气含量、氢气中氯硅烷等问题，影响进行持续稳定对两种工提出应对产工艺的运行。艺的相互影响进行了分析并提出应对解决措施，进而维持两种生产工艺的持续稳定运行。
