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多晶硅原料处理过程中质量控制措施探讨

《中国科技期刊数据库 工业A》2020年 第09月 08 | 周玲英;张旭;张小军 新特能源股份有限公司,新疆乌鲁木齐830011

摘 要:多晶硅原料在处理过程中所受到的质量影响较多,极需加强对各个环节和影响因素的控制,尤其是对于温度、配比、精度和质检等部分,都是对多晶硅原料处理过程中质量控制的重要关键。本文将通过对多晶硅原料处理过程中的分析,对其中会造成质量影响的因素进行论述,最终针对影响因素提出适当的控制措施,达到提高多晶硅原料处理过程中质量控制的效果。

【分 类】 【工业技术】 > 化学工业 > 非金属元素及其无机化合物化学工业 > 第Ⅳ族非金属元素及其无机化合物 > 硅及其无机化合物
【关键词】 多晶硅原料 处理过程 质量控制
【出 处】 《中国科技期刊数据库 工业A》2020年 第09月 08 130-130页 共2页
【收 录】 中文科技期刊数据库

【参考文献】
[1]魏强,王鹏.浅谈多晶硅原料处理过程中质量控制的几点措施[J].成功:教育,2018(22):19-19.[2]任小红.多晶硅生产过程的质量控制[J].化工管理,2018(20):255.[3]厉忠海,于跃,王阳,等.电子级多晶硅清洗过程管控要点[J].中国设备工程,2019(4):174-175.

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《中国科技期刊数据库 工业A》是经原国家新闻出版广电总局批准的连续型电子期刊,由科技部西南信息中心主管、重庆维普资讯有限公司主办。国内刊号CN 50-9231/TB,...详细
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