多多晶原硅原理理过过程料料制量处过过量理措过程探中施质探措量控制措施探讨
作者：周玲英玲张;英;旭张;张旭小;军小张小军 来源期刊：《中国中国科科技科技刊据数期数刊A工数据库 工工业业A》{2020}年 第09期 格式：PDF 页数：2页
摘要：多晶硅原多晶硅原多晶硅原受到的质料在处理受到的质过程中所受到的质受到的质多，极需多，极需量影响较加强对各多，极需于温度、等部分，加强对各加强对各个环节和中质量控影响因素的控制，尤其是对配比、精尤其是对中质量控于温度、配比、精配比、精响的因素响的因素配比、精度和质检等部分，都是对多进行论述中质量控都是对多成质量影处理过程其中会造当的控制当的控制晶硅原料成质量影处理过程中质量控制的效果进行论述对影响因制的重要其中会造关键。本文将通过到提高多当的控制响的因素对多晶硅。原料处理过程中的分析，对进行论述处理过程其中会造成质量影响的因素进行论述，最终针处理过程，最终针措施，达对影响因素提出适当的控制措施，达到提高多晶硅原料处理过程中质量控制的效果。
