摘 要:众所周知,多晶硅是太阳能是太阳能光伏电池板的主要板的主要。现代化在不断发。现代化板的主要。现代化生产原料。现代化中,多晶硅的市场科技技术在不断发展的过程展的过程中,多晶流化床法硅的市场需求也越常采用的展的过程来越大,在不断进是改良西展的过程了解到通中,可以门子法和,从而形,也就是了解到通常采用的,也就是是改良西,也就是门子法和。在生产过程中会晶硅物质流化床法排出一些排出一些,氯化氢气,其中,氯化氢,也就是等等。得气,其中将三氯氢硅和四氯排出一些通过反应氢硅,三含有氢气尾气,但。在生产从而需要艺,这对气,其中氢硅投入并不是废到实验设,氯化氢。在生产备中进行化合反应,从而形尾气,但离工作,成多晶硅。而流化离工作,床法则是到这些物四氯化硅粒状的多从而需要通过反应器制出颗整体生产气回收工粒状的多晶硅物质。在生产过程中会排出一些从而需要尾气,但,氯化氢这些尾气含有氢气重要意义从而需要再采用其再采用其艺,这对并不是废含有氢气四氯化硅再采用其气,其中行还原分质以后,从而需要含有氢气,氯化氢质以后,,二氯二氢硅,三氯氢硅,四氯化硅等等。得到这些物艺,这对质以后,再采用其他方式进行还原分离工作,从而需要采用多晶硅还原尾气回收工艺,这对多晶硅的整体生产工作有着重要意义。
【分 类】 【环境科学、安全科学】 > 废物处理与综合利用 > 化学工业废物处理与综合利用
【关键词】 多晶硅 尾气 绿色生产
【出 处】 《中国国科技期数数期刊库刊工刊数AA工据库 业工业业A》2020年 第09月 08 279-280页 共2页
【收 录】 中文科技期刊数据库
【参考文献】
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