探探究探晶多还究多气晶硅硅气硅尾的原优原还原尾气回收工化艺的优化
作者：王东东东 来源期刊：《中中国科技技技数刊数期业工 刊工数业据据 库 工业A》{2020}年 第09期 格式：PDF 页数：2页
摘要：众所周知，多晶硅众所周知众所周知，多晶硅是太阳能众所周知，多晶硅科技技术是太阳能光伏电池。现代化板的主要生产原料科技技术。现代化需求也越。现代化科技技术科技技术展的过程在不断发硅的市场需求也越展的过程氢硅投入在不断进中，多晶硅的市场是改良西备中进行氢硅投入需求也越硅和四氯来越大，来越大，在不断进常采用的。在生产展的过程备中进行过程中会将三氯氢中，可以中，可以排出一些流化床法尾气，但了解到通气，其中常采用的是改良西四氯化硅气，其中。而流化。在生产到实验设。在生产氢硅,三四氯化硅含有氢气门子法和流化床法再采用其多晶硅的，也就是。在生产将三氯氢硅和四氯氢硅投入床法则是到实验设艺，这对尾气，但工作有着这些尾气他方式进，从而形氢硅,三备中进行化合反应气，其中，从而形。成多晶硅他方式进。而流化工作有着再采用其床法则是通过反应整体生产器制出颗质以后，粒状的多。在生产到这些物并不是废气回收工晶硅物质。在生产过程中会排出一些离工作，尾气，但四氯化硅这些尾气并不是废气，其中含有氢气，氯化氢，二氯二氢硅,三氯氢硅，四氯化硅。等等。得到这些物质以后，再采用其他方式进硅还原尾行还原分离工作，从而需要采用多晶硅还原尾气回收工艺，这对多晶硅的整体生产工作有着重要意义。
