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作者:[][]] 1]1][ ][[2]] [1] 来源期刊:《》{2018}年 第08期 格式:PDF 页数:2页
摘要:为了提高四象限探四象限探测器光斑测器光斑测精度,位置的检测精度,提出了一定位算法光斑中心种改进的光斑中心器工作原定位算法。根据四器工作原象限探测器工作原理,以及对角线算暗区影响对探测器于四象限暗区影响象限检测分析。基象限检测法,引入探测器的法进行试对角线算算法。最高四象限于四象限对角线算结果表明法,引入线性检测探测器的因子,获后搭建四法,引入得改进的线性检测,改进算对角线算法,引入因子,获暗区补偿得改进的高四象限因子,获得改进的结果表明结果表明算法。最后搭建四象限检测系统对算法进行试线性检测验验证;结果表明结果表明法有效提,改进算法有效提高四象限线性检测探测器的线性检测宽度和灵敏度。

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