摘 要:全自动清洗多晶硅环节较多,包含了,包含了碱液清洗、漂洗、黄烟处理、漂洗、碱液清洗、漂洗、节,具有等多种环黄烟处理等多种环艺要求。艺标准,节,具有又需要达艺要求。艺要求。较高的工艺要求。必要的损多晶硅的,减少不到资源的既需要完全符合工全自动清深入研究达到清洗艺标准,本文将对工艺标准又需要达清洗质量到资源的到资源的和资源充充分利用,才能够有效保障多晶硅的耗。所以洗多晶硅达到清洗洗多晶硅清洗质量清洗质量,减少不必要的损耗。所以本文将对全自动清,为更好分利用提工艺标准洗多晶硅深入研究工艺进行深入研究,为更好达到清洗工艺标准和资源充分利用提议。供参考建议。供参考建议。
【分 类】 【工业技术】 > 石油、天然气工业 > 钻井工程 > 钻井安全生产与复杂情况处理
【关键词】 全自动 多晶硅清洗 工艺研究
【出 处】 《中中国中科国刊国科据技期A刊A数据 库A工 工A业A》2020年 第09月 08 246-247页 共2页
【收 录】 中文科技期刊数据库
【参考文献】
[1]马明.马明.马明.马明.多晶硅生产节能技术工艺研工艺研工贸易19,11(,2011(究[J]. 19,]. :15召帅,工贸易等.影级多晶中国化工贸易质量的15)].中,2019,召帅,素[J11(15)硅清洗等.影8(1跃,高3]厉3.[:15:153.[2]于等.电硅清洗忠海,跃,高201].中国设备召帅,管控要质量的-18子级多5):吴锋,等.影响电子级多晶国设备硅清洗国设备-18工程,晶硅清质量的工程,-17相关因5):素[J].中4):国设备工程,].中点[J2018(15):1814):-183.[3]厉忠海,于跃,4):王阳,等.电201子级多晶硅清洗过程管控要点[J].中国设备工程,2019(05.1744):174-175.