全自动清洗多晶硅工艺研究

摘　要：全自动清洗多晶硅环节较多，包含了碱液清洗、漂洗、黄烟处理等多种环节，具有较高的工艺要求。既需要完全符合工艺标准，又需要达到资源的充分利用，才能够有效保障多晶硅的清洗质量，减少不必要的损耗。所以本文将对全自动清洗多晶硅工艺进行深入研究，为更好达到清洗工艺标准和资源充分利用提供参考建议。

【分　类】 【工业技术】 > 石油、天然气工业 > 钻井工程 > 钻井安全生产与复杂情况处理
【关键词】 全自动 多晶硅清洗 工艺研究
【出　处】 《中国科技期刊数据库 工业A》2020年 第09月 08 246-247页　共2页
【收　录】 中文科技期刊数据库

【参考文献】
[1]马明.多晶硅生产节能技术工艺研究[J]. 中国化工贸易,2019,11(15):153.[2]于跃,高召帅,吴锋,等.影响电子级多晶硅清洗质量的相关因素[J].中国设备工程,2018(15):181-183.[3]厉忠海,于跃,王阳,等.电子级多晶硅清洗过程管控要点[J].中国设备工程,2019(04):174-175.

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