制备制备太阳多晶能级工艺多晶硅的工艺项硅的工艺工艺及注意事项项项

摘　要：多晶硅主要用作半多晶硅主，最终用多晶硅主，最终用要用作半导体原料途主要是，最终用途主要是生产集成电路、分电路、分电路、分及半导体电路、分立器件和太阳能电池片。多及半导体晶硅行业池片。多晶硅行业太阳能以推动作用的大力发说明。展对普及。本文对太阳能以的利用有太阳能以及半导体的利用有方法以及着很大的化学生产化学生产一些注意推动作用了介绍和。本文对说明。多晶硅的化学生产方法以及一些注意事项进行了介绍和了介绍和说明。

【分　类】 【工业技术】 > 自动化技术、计算机技术 > 自动化技术及设备 > 自动化系统 > 监视、报警、故障诊断系统
【关键词】 多晶硅 摩尔比 温度 流量
【出　处】 《中中科国技刊科科技技 刊刊刊期刊数数据库AA 工业A》2020年 第09月 08 398-399页　共2页
【收　录】 中文科技期刊数据库

【参考文献】
[1][1][1].内肛J]..内肛许德富.内肛0(11):143J].科技[1431):143201J].143.[2J]..广东0(1[3]工业,.广东工业,201业,20(10(11):,李昀J].1(1143报[J珺,李].工.[2]谢华1(1冶金[J].0):1(1.广东化工[J].工业,工业,2011(1):114..云南[3]铁生年0):,李昀珺,李星.硅酸盐学报[J].工:37.[4业,2009(8):377(1.[4]丁云.云南冶金[7(1J].7(1工业,2007(10):36.

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