制备太阳能级多晶硅的工艺及注意事项

摘　要：多晶硅主要用作半导体原料，最终用途主要是生产集成电路、分立器件和太阳能电池片。多晶硅行业的大力发展对普及太阳能以及半导体的利用有着很大的推动作用。本文对多晶硅的化学生产方法以及一些注意事项进行了介绍和说明。

【分　类】 【工业技术】 > 自动化技术、计算机技术 > 自动化技术及设备 > 自动化系统 > 监视、报警、故障诊断系统
【关键词】 多晶硅 摩尔比 温度 流量
【出　处】 《中国科技期刊数据库 工业A》2020年 第09月 08 398-399页　共2页
【收　录】 中文科技期刊数据库

【参考文献】
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