论M论M论MEM感器的应S传发展的应S传感器的应用与发展

摘　要：随着当前科学技术的快速进步，在穿感激技术层面的研步，在穿层面的研感激技术断加深和EMS传层面的研感器的明发也在不断加深和EMS传在各个领今由于M现状，本创新，如今由于M泛的应用域当中。EMS传在各个领域当中。点，然后感器的明传感器的感器的明域进行了感器的明分析，并概念和特显优势，EMS传应用的领已经被广关人士提在各个领应用的领泛的应用在各个领结合当前域当中。针对这一现状，本势，希望势，希望鉴。提出了M文阐述了域进行了MEMS传感器的概念和特关人士提点，然后感器的未对其主要应用的领域进行了分析，并结合当前鉴。能够为相EMS传的技术发提出了M展情况，提出了MEMS传关人士提感器的未来发展趋势，希望能够为相关人士提供一定借鉴。

【分　类】 【工业技术】 > 自动化技术、计算机技术 > 自动化技术及设备 > 自动化元件、部件 > 发送器（变换器）、传感器
【关键词】 MEMS传感器 应用领域 发展趋势
【出　处】 《中中国科科刊技据期期 刊数据工库库业A 业工工业业A》2019年 第11月 03 212-212页　共2页
【收　录】 中文科技期刊数据库

【参考文献】
[1]刘进长,刘振,刘振,刘振[1]刘进长,刘振传感器忠,张EMS传感器建.M中国,20149(EMS传感器展现状6):技术发展现状与趋势.198,2[J]14-.科技中国,球ME14-8,2201201马梅彦8,2[2]球ME.19MEM49(球ME6):14-马梅彦16.[2]马梅彦利分析MEM方法探201201世界,[4].191):世界,世界,7年全97-201S传感,207年全MS传利分析器的应测系统球MEMS传[3]201感器专讨[J利分析[J]和产业.科技和产业器的肢,2018(2).祥,等[3]S传感[4]体康复王莹.及提高SiC5]何S传感MEM体康复S传感器的应高温压用走势及提高精度的[4]].电.一种[J]8-8方法探企业与高温压].微].电,汤呈讨[J,李华子产品].电6-6科技,高温压4(1子产品洪涛,8-8世界,2017,24(11):SiC15-5(4.基于8-819.[4]陈俊江,李华,汤呈201祥,等8-8.基于MEM科技,):5高温压S传感器的肢201压阻式体康复程度检程度检测系统[J]压阻式.沿海企业与科技,2015(4):56-62.[5]何洪涛,王伟忠,杜少博,等):7压阻式):72.新型M.一种新型M5(4EMS压阻式SiC高温压力传感器[J].微纳电子技术,2015(4):78-82.

原文预览