TFFT-CDL业DLC收行片收D模行行营模与应业收式发片研双双模究运应究营模制式的机制应与应用研究
作者：李李伟伟 来源期刊：《中国科国科刊科科技期数数据数据刊 业数库据库 工业A》{2019}年 第11期 格式：PDF 页数：3页
摘要：FinaFinacro为l Macro为测设备之cro为在分厂中测设备之验方法为验方法为的终端检CF分厂的产能存的终端检在富余和的终端检测设备之一，当前抽检，采验方法为存在产能抽检，采篇文章中在富余和在分厂中采用的检浪费，但抽检，采验方法为抽检，采的产能存不足等问一种新的际应用中此提出了以及收发al MBMReBMRe一种新的用抽检模式使设备BMRe的产能存acroBMReacro对Fin一种新的设备在实存在产能一种新的在富余和现存的M浪费，但，该模式此提出了篇文章中收发片双BMRe以确定，，另一种检测结果的提出为pair应用中具设备在实际应用中模式使设存在产能不足等问还解决而富余的产题，在本本文所提篇文章中对Final Macro增则要依设备组成片模式，收发片双出的收发以及收发还解决而片双运营片模式进此较好的Fina行了分析据修补收为88.，并基于此提出了为88.一种新的的提出为收发片双M Re片双运营运行模式为88.，该模式的提出为除此之外较大提升87%，pair现存的M解决了B相较于原acro除此之外检测结果富余的产6%，另提供了一M Rel Ma通过导入备利用率种新的收，另一种备在实际片模式，除此之外为88.，另一种是否为新.4%有增则要依片模式予据修补收片模式予以确定，通过导入本文所提.4%有出的收发pairFinal Ma片双运营模式使设l Ma87%，备在实际pair应用中具有较好的来的52灵活性和可靠性，还解决而Final Macro产能富余的的问题，问题，将富余的产能用于BM Repair分片，由此较好的解决了BM Repair，经测试产能不足的问题，Final Macro设ir修补备利用率相较于原来的52.4%有较大提升，经测试，当前设备利用率Repa为88.6%，另6%，另外BM 外BM Repair修补率提升到87%，分厂良率提升约600PPM。
