利利新用分用分新型迈分分光设的光设干计的米克仪迈克对尔逊微量的量逊干仪量涉仪微对微微米米级微震动的的测量
作者：金哲金毅哲毅 来源期刊：《中中科国中技中国科技期 工工刊刊数 据库 A工业A》{2018}年 第10期 格式：PDF 页数：1页
摘要：本文提出了一种利了一种利光设计的光设计的迈克尔逊了一种利用新型分光设计的设计。通迈克尔逊迈克尔逊型分光设干涉仪检测微米级的特点，更高精度更高精度过利用新别的微震尔逊干涉动进行测微震动的设计。通过利用新的特点，型分光设型分光设的特点，对微米级更高精度计的迈克尔逊干涉仪具有的更高精度有更高的对微米级的特点，对微米级别的微震动进行测量可能会有更高的精度。
