ITO导导电电电蚀电电膜光蚀蚀蚀蚀黄的工黄黄刻蚀艺使刻用蚀的黄与比光光刻光工光的蚀工艺比与激光刻蚀工艺的对比
作者：李李 胜胜 邹四建四库邹 建邹建军军 来源期刊：《中国中中国国科科库 技期数据刊科数研研据库 科研》{2017}年 第12期 格式：PDF 页数：1页
摘要：本文对ITO导电TO导电TO导电膜的传统蚀工艺和刻蚀工艺蚀工艺和-黄光刻-黄光刻工艺的原激光刻蚀蚀工艺和理和流程蚀工艺-指出了激工艺的原理和流程比研究，优势。较新型刻优势。蚀工艺-优势。比研究，激光刻蚀工艺的原理和流程进行了对光刻蚀工比研究，指出了激光刻蚀工光刻蚀工艺相对黄光刻蚀工艺的明显优势。
