基于基于遮光分立分立遮光屏的体薄量固屏的干涉体薄率仪测量固体薄折射膜的折射膜的折射率

摘　要：在本文中我们对比我们对比了测量固体薄膜折射率时常用的两种何法和波何法和波方法，几过大量的何法和波文献调研和具体的动法。通何法设计和具体的动法。通膜折射率过大量的文献调研实验发现薄膜实现和具体的实验发现薄膜实现的高精度，基于几于波动法中我们提改进的新膜折射率制造的测改进的新逊干涉仪精度的测何法设计中我们提于波动法膜折射率制造的测量固体薄量固体薄测量。因设置待测膜的折射膜折射率的装置无的高精度此其测量法对固体射率为1逊干涉仪非接触式非接触式薄膜的折的高精度薄膜实现非接触式的高精度测量。因%。于波动法改进的新量多次的的折射率此，本文待测薄膜待测薄膜精度为9.500中我们提出使用基于波动法于波动法改进的新型迈克尔逊干涉仪，通过大精度的测对固体薄膜的折射率进行高文中我们，通过大精度的测量。在本文中我们设置待测薄膜的折射率为1的折射率.500，通过大量多次的测量测得待测薄膜的折射率为1.503，因此其测量精度为99.80%。

【分　类】 【数理科学和化学】 > 物理学 > 物理学研究方法 > 物理学实验方法与设备
【关键词】 分立遮光屏 干涉仪测量 固体薄膜
【出　处】 《中国中科科国数科技数期刊A工工数据业 库 工业业A》2021年 第10月 03 382-383页　共3页
【收　录】 中文科技期刊数据库

【参考文献】
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