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高纯晶体硅精馏提纯工艺技术研究

《中国科技期刊数据库 工业A》2020年 第09月 08 | 杜新 新特能源股份有限公司,新疆乌鲁木齐830011

摘 要:随着科学技术发展水平不断提升,在进行高纯晶体硅生产过程中,要采取更为精湛的提纯技术,进行三氯氢硅的提纯除杂工作,在进行精细化三氯氢硅生产过程中,要采取有效技术手段进行精馏提纯工作。这首先需要采用精馏塔进行各类组分的分离工作,在生产三氯氢硅物料的过程中需要消耗大量蒸汽。在实际生产过程中,三氯氢硅的产品质量和各项工艺控制参数,与高纯多晶硅产品质量有着非常紧密的联系。由此可见,在多晶硅生产中开展实际提质工作的过程中,通过对氯硅烷精馏提纯工艺进行优化,可为多晶硅产品产品质量的提升提供更好的技术手段,也为高纯晶体硅技术升级提供创新驱动力。

【分 类】 【工业技术】 > 自动化技术、计算机技术 > 自动化技术及设备 > 自动化系统 > 监视、报警、故障诊断系统
【关键词】 高纯晶体硅 三氯氢硅 精馏提纯工艺
【出 处】 《中国科技期刊数据库 工业A》2020年 第09月 08 261-262页 共2页
【收 录】 中文科技期刊数据库

【参考文献】
[1]占明明.多晶硅生产中精馏工艺优化[J].化工设计通讯,2018(10):75.[2]武振国,郑洁.电子级多晶硅生产中氯硅烷精馏工艺的设计和优化[J].化工管理,2018(2):101.[3]晋正茂,王德夫,武振国.多晶硅生产中精馏工序工艺优化浅析[J].化学工程与装备,2018(12):69-70.

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《中国科技期刊数据库 工业A》是经原国家新闻出版广电总局批准的连续型电子期刊,由科技部西南信息中心主管、重庆维普资讯有限公司主办。国内刊号CN 50-9231/TB,...详细
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