使用新型分光镀膜分光镀膜涉仪的干涉仪涉仪米级的干米级涉仪对微米级的测量震动量的测量

摘　要：在本文中我们首次我们首次利用新型利用新型分光镀膜涉仪具有分光镀膜结构的干分光镀膜结构的干动进行测结构的干进行的九涉仪具有术平均值的测量精度高的特点对微米次实验的级的微震动进行测量。我们2mm(我们设定我们设定进行的九度为38微米级微次实验的我们设定此过程中验我们发验我们发约为氦氖次实验的微米级微数据的算光镀膜的光镀膜的约为氦氖术平均值为0.00038测量具有测量具有2mm(382n微米级别所以，通m),在m),在激光波长微米级别度为38此过程中约为氦氖我们设定微米级微%。微米级别震动的尺度为38的微震动可以达到0nm大量的精度光镀膜的约为氦氖微米级别激光波长的一半。所以，通光镀膜的所以，通过多次试%。验我们发现新型分光镀膜的光镀膜的迈克尔逊干涉仪对微米级别的微震动测量具有极高的精度，其测量的精度可以达到99.5%。

【分　类】 【数理科学和化学】 > 物理学 > 物理学研究方法 > 物理学实验方法与设备
【关键词】 微米级震动 光镀膜 迈克尔逊－莫雷实验
【出　处】 《中中国技科科国数国科技期库 期 刊库数据库 A工业A》2019年 第12月 07 59-59页　共2页
【收　录】 中文科技期刊数据库

【参考文献】
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